半導(dǎo)體制樣設(shè)備
Ted Pella在2021年收購了專業(yè)劃片裂片設(shè)備生產(chǎn)廠商LatticeGear公司，把它旗下的劃片裂片相關(guān)設(shè)備LatticeAx及FlipScribe等暢銷設(shè)備并入了自己的產(chǎn)品線中，配合Ted Pella多年在相關(guān)領(lǐng)域的硬實力，現(xiàn)在Ted Pella能為眾多半導(dǎo)體廠商及科研機(jī)構(gòu)提供更專業(yè)的半導(dǎo)體制樣服務(wù)。廣州競贏作為Ted Pella在中國的總代理，現(xiàn)在也能為客戶提供專業(yè)的半導(dǎo)體制樣解決方案。
LatticeAx系列劃片機(jī)采用了容易控制的“解理切割”，使得切割過程更為精準(zhǔn)，減少了切割誤差。它不需要劃線，是在晶圓表面用金剛石壓頭壓一條長度小于1mm、寬度約10um的淺壓痕，然后沿著壓痕進(jìn)行解理，這樣不僅可以最大程度地保存樣品的原始結(jié)構(gòu)，還可以避免晶圓在切割過程中產(chǎn)生的不必要損傷。采用晶面解理方式，能夠得到更為理想的切口，斷面更光滑，有利于后續(xù)的觀察和使用。
FlipScribe的劃線器安裝在背板，可以準(zhǔn)確地從正面定位劃線位置，消除了在劃線過程中對敏感正面器件的污染，對晶體和無定形樣品特別有價值。同時金剛石劃線器的傾斜和高度是可調(diào)的，這是優(yōu)化沿光刻與晶面制備樣品的工藝的關(guān)鍵。
PELCO LatticeAx 420 晶圓裂片劃片機(jī)
LatticeAx 420是一款高效且精確的晶圓切割設(shè)備。作為LatticeAx系列的龍頭產(chǎn)品，其集成了PELCO? LatticeAx?基座和先進(jìn)的視覺系統(tǒng)。配置粗細(xì)焦距控制的聚焦裝置，具有4μm光學(xué)解析度的單筒、共焦、可變焦鏡頭（放大倍率0.58-7x），配色CCD攝像機(jī)、實時圖像捕捉展示軟件以及X-Y移動臺功能一應(yīng)俱全。特別適用于快速又精確、能處理多樣化樣品的切割需求。
PELCO LatticeAx 225晶圓精密劃片裂片機(jī)
PELCO? LatticeAx 225可以提供20μm的定位精度，經(jīng)過培訓(xùn)的使用者可以在大約5分鐘內(nèi)完成高質(zhì)量的晶圓劃片，可處理各種尺寸、厚度的樣品和多種材料類型。它具備了手工劃片的基本元素，同時解決了手工劃片的精準(zhǔn)性不高、可重復(fù)性差等缺點。
PELCO FlipScribe 背劃式晶圓劃片機(jī)
FlipScribe采用背劃式設(shè)計，使用戶能夠在正面精準(zhǔn)定位樣品的切割點，可處理鍵合晶圓、玻璃、藍(lán)寶石和其他基底。
PELCO FlexScribe 頂劃式劃片機(jī)
FlexScribe是用一種超級快速，簡單的方法，通過在頂部劃線來切割晶圓等樣品。它使用一個劃線輪安裝到一個滑動劃線裝置中，始終進(jìn)行直線劃線，可用于玻璃載玻片、鍍層、硅、 III-V、藍(lán)寶石和其他結(jié)晶性和脆性材料等。
PELCO LatticeAx 120晶圓劃片切割機(jī)
PELCO? LatticeAx? 120是一個小巧、通用且強(qiáng)大的劃片工具，用于縮小和橫切各種基材，包括硅、砷化鎵、銦磷、藍(lán)寶石和玻璃。
PELCO 小樣品裂片器
可以將寬度3-15mm、厚度200-900um的樣品，縮小成尺寸小至2 x 2mm的小塊。
CleanBreak 晶圓鉗
高質(zhì)量的晶圓鉗，有6英寸和8英寸兩種規(guī)格。
小樣品裂片鉗
小樣品裂片鉗非常適合切割2-3毫米的劃線樣品。尼龍制成的鉗口在切割過程中可以防止樣品被劃傷。鉗口可更換。
