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半導(dǎo)體制樣設(shè)備

 

Ted Pella在2021年收購了專業(yè)劃片裂片設(shè)備生產(chǎn)廠商LatticeGear公司,把它旗下的劃片裂片相關(guān)設(shè)備LatticeAx及FlipScribe等暢銷設(shè)備并入了自己的產(chǎn)品線中,配合Ted Pella多年在相關(guān)領(lǐng)域的硬實力,現(xiàn)在Ted Pella能為眾多半導(dǎo)體廠商及科研機(jī)構(gòu)提供更專業(yè)的半導(dǎo)體制樣服務(wù)。廣州競贏作為Ted Pella在中國的總代理,現(xiàn)在也能為客戶提供專業(yè)的半導(dǎo)體制樣解決方案。

LatticeAx系列劃片機(jī)采用了容易控制的“解理切割”,使得切割過程更為精準(zhǔn),減少了切割誤差。它不需要劃線,是在晶圓表面用金剛石壓頭壓一條長度小于1mm、寬度約10um的淺壓痕,然后沿著壓痕進(jìn)行解理,這樣不僅可以最大程度地保存樣品的原始結(jié)構(gòu),還可以避免晶圓在切割過程中產(chǎn)生的不必要損傷。采用晶面解理方式,能夠得到更為理想的切口,斷面更光滑,有利于后續(xù)的觀察和使用。

FlipScribe的劃線器安裝在背板,可以準(zhǔn)確地從正面定位劃線位置,消除了在劃線過程中對敏感正面器件的污染,對晶體和無定形樣品特別有價值。同時金剛石劃線器的傾斜和高度是可調(diào)的,這是優(yōu)化沿光刻與晶面制備樣品的工藝的關(guān)鍵。

PELCO LatticeAx 420 晶圓裂片劃片機(jī)

LatticeAx 420是一款高效且精確的晶圓切割設(shè)備。作為LatticeAx系列的龍頭產(chǎn)品,其集成了PELCO? LatticeAx?基座和先進(jìn)的視覺系統(tǒng)。配置粗細(xì)焦距控制的聚焦裝置,具有4μm光學(xué)解析度的單筒、共焦、可變焦鏡頭(放大倍率0.58-7x),配色CCD攝像機(jī)、實時圖像捕捉展示軟件以及X-Y移動臺功能一應(yīng)俱全。特別適用于快速又精確、能處理多樣化樣品的切割需求。

JY-S100離子濺射儀
離子濺射儀

PELCO LatticeAx 225晶圓精密劃片裂片機(jī)

PELCO? LatticeAx 225可以提供20μm的定位精度,經(jīng)過培訓(xùn)的使用者可以在大約5分鐘內(nèi)完成高質(zhì)量的晶圓劃片,可處理各種尺寸、厚度的樣品和多種材料類型。它具備了手工劃片的基本元素,同時解決了手工劃片的精準(zhǔn)性不高、可重復(fù)性差等缺點。

PELCO FlipScribe 背劃式晶圓劃片機(jī)

FlipScribe采用背劃式設(shè)計,使用戶能夠在正面精準(zhǔn)定位樣品的切割點,可處理鍵合晶圓、玻璃、藍(lán)寶石和其他基底。

PELCO FlexScribe 頂劃式劃片機(jī)

FlexScribe是用一種超級快速,簡單的方法,通過在頂部劃線來切割晶圓等樣品。它使用一個劃線輪安裝到一個滑動劃線裝置中,始終進(jìn)行直線劃線,可用于玻璃載玻片、鍍層、硅、 III-V、藍(lán)寶石和其他結(jié)晶性和脆性材料等。

PELCO LatticeAx 120晶圓劃片切割機(jī)

PELCO? LatticeAx? 120是一個小巧、通用且強(qiáng)大的劃片工具,用于縮小和橫切各種基材,包括硅、砷化鎵、銦磷、藍(lán)寶石和玻璃。

PELCO LatticeAx 大樣品支架

適用于 PELCO? LatticeAx系列所有型號,可把設(shè)備支持的晶圓和樣品尺寸擴(kuò)展到最大 300mm。

PELCO 小樣品裂片器

可以將寬度3-15mm、厚度200-900um的樣品,縮小成尺寸小至2 x 2mm的小塊。

CleanBreak 晶圓鉗

高質(zhì)量的晶圓鉗,有6英寸和8英寸兩種規(guī)格。

小樣品裂片鉗

小樣品裂片鉗非常適合切割2-3毫米的劃線樣品。尼龍制成的鉗口在切割過程中可以防止樣品被劃傷。鉗口可更換。

切割線

將樣品事先劃好的線對準(zhǔn)線材中心,通過在兩側(cè)的樣品上稍微下壓,即可切割樣品。這是一種替代晶圓鉗的方法。線材的長度為2.5英寸。

金剛石劃線筆

總長度為 120 mm,有直尖和彎尖兩種,彎尖的60° 。

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