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PELCO?FlipScribe?背劃式晶圓劃片機(jī)

FlipScribe將可以在樣品背面劃出干凈、筆直的劃線,使用戶能夠準(zhǔn)確地正面切割樣品,可處理鍵合晶圓、玻璃、藍(lán)寶石和其他基底。

描述

PELCO FlipScribe 是一種結(jié)構(gòu)緊湊、穩(wěn)定、精確、快速、低成本的劃線和切割解決方案,適用于任何實(shí)驗(yàn)室。

FlipScribe將可以在樣品背面劃出干凈、筆直的劃線,使用戶能夠準(zhǔn)確地正面切割樣品,可處理鍵合晶圓、玻璃、藍(lán)寶石和其他基底。

FlipScribe通過(guò)將堅(jiān)固的金剛石劃線器集成到帶有導(dǎo)向柵欄的樣品平臺(tái)中,提供了比手持工具更精確的劃線方法。對(duì)齊和劃線所需的時(shí)間約一分鐘。同時(shí)它的劃線器安裝在基板背面,所有用戶準(zhǔn)確地在正面定位劃痕的位置,可以直接用眼睛觀察,也可以用用戶提供的高倍顯微鏡觀察。同時(shí)消除了在劃線過(guò)程中對(duì)敏感正面器件的污染,對(duì)晶體和無(wú)定形樣品特別有價(jià)值。

通過(guò)使用FlipScribe設(shè)計(jì)的 “劃線擋板”,操作者能夠定義劃線的長(zhǎng)度,從而干凈利落地縮小大型樣品的尺寸。同時(shí)金剛石劃線器的傾斜和高度是可調(diào)的,這是優(yōu)化沿光刻與晶面制備樣品的工藝的關(guān)鍵。

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 劃線器安裝在背板,可以準(zhǔn)確地從正面切割目標(biāo)
  • 劃線不會(huì)損壞樣品的正面
  • 劃線器的傾斜和高度可調(diào)
  • 精度±200μm
  • 在樣本大小和形狀方面保持靈活性
  • 允許劃線長(zhǎng)度從 1 到 100 毫米不等
  • 使用嵌入平臺(tái)的標(biāo)尺實(shí)現(xiàn)精確且可重復(fù)的樣品對(duì)齊和尺寸調(diào)整
  • 保留對(duì)接鍵合晶圓和非晶晶圓和芯片進(jìn)行劃線以用于隨后的裂片
  • 純機(jī)械,無(wú)需電源

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