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離子濺射儀

離子濺射儀,一般是用來給SEM掃描電鏡中非導(dǎo)電樣品鍍膜,使得樣品擁有良好的導(dǎo)電性能,避免產(chǎn)生荷電效應(yīng),從而能看到更好的電鏡效果圖。我司提供的鍍膜儀有噴金儀和鍍碳儀,以及鍍金鍍碳一體的離子濺射儀。其中噴金儀用的原理即是離子濺射,離子濺射的噴金儀可用于大部分樣品,尤其是對熱敏感的生物樣品,而鍍碳儀用的則是熱蒸鍍,因為鍍膜過程會產(chǎn)生高溫,所以不適合熱敏感樣品鍍膜。

JY-S100離子濺射儀

JY-S100磁控離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌面小型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

JY-S100離子濺射儀
離子濺射儀

JY-S100 PLUS離子濺射儀

JY-S100PLUS 是一款桌上型冷態(tài)磁控濺射鍍膜系統(tǒng),標配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺,特別適用于各種表面形貌的非導(dǎo)電樣品在掃描電鏡成像中的高質(zhì)量鍍膜,也可滿足電極鍍膜,半導(dǎo)體等材料鍍膜的要求。

JYSC-110離子濺射儀

JYSC-110型離子濺射儀主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜(金膜),儀器操作簡單方便,是配合SEM 制樣的儀器。設(shè)備配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空,在 20Pa 真空保護。同時,配有專用進氣口和微量充氣調(diào)節(jié)裝置,以方便空氣或氬氣等工作氣體充入。

離子濺射儀

JYSC-1000離子濺射儀

JYSC-1000型小型磁控離子濺射儀主要用于SEM制樣樣品鍍導(dǎo)電膜(如金膜)或材料鍍膜,儀器性能穩(wěn)定,操作簡單方便。采用磁控冷態(tài)濺射,基本不升溫,保護樣品。

JYE100C噴碳儀

JYE100C型小型噴碳儀主要用于掃描電鏡 EDS 樣品鍍導(dǎo)電膜 ,儀器操作簡單方便,是配合 SEM 制樣的儀器。

離子濺射儀配套靶材

離子濺射儀鍍膜的效果會受到目標樣品相互作用的影響,所以應(yīng)該根據(jù)實際樣品來選擇合適的靶材。大多數(shù)濺射材料都具有較高的二次電子(SE)產(chǎn)生率,而有較低原子序數(shù)的濺射材料更適合于樣品的背散射電子(BSE)成像。目前用的比較多的是金靶和鉑靶。金靶濺射后顆粒較大,所以高倍成像更適合用鉑靶在高真空下鍍膜。

鍍碳儀配套碳棒

光譜純的碳棒,雜質(zhì)等于或小于2ppm??蓱?yīng)用于TEM,F(xiàn)ESEM,F(xiàn)IB,WDS,EBSD,Microprobe和SEM / EDS。

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