描述

LatticeAx 420是一款高效且精確的晶圓切割設(shè)備。作為L(zhǎng)atticeAx系列的龍頭產(chǎn)品，其集成了PELCO? LatticeAx?基座和先進(jìn)的視覺系統(tǒng)。配置粗細(xì)焦距控制的聚焦裝置，具有4μm光學(xué)解析度的單筒、共焦、可變焦鏡頭（放大倍率0.58-7x），配色CCD攝像機(jī)。、實(shí)時(shí)圖像捕捉展示軟件以及X-Y移動(dòng)臺(tái)功能一應(yīng)俱全。特別適用于快速又精確、能處理多樣化樣品的切割需求。

LatticeAx 優(yōu)化了手動(dòng)劃片的流程，最根本的區(qū)別體現(xiàn)在它使用高倍數(shù)字顯微鏡和精密定位旋鈕來(lái)定位目標(biāo)，精度更高且減少了用戶差異所導(dǎo)致的誤差，同時(shí)增加了可重復(fù)性，大大提升了工作效率。

LatticeAx采用了容易控制的“解理切割”，使得切割過程更為精準(zhǔn)，減少了切割誤差。它不需要?jiǎng)澗€，是在晶圓表面用金剛石壓頭壓一條長(zhǎng)度小于1mm、寬度約10um的淺壓痕，然后沿著壓痕進(jìn)行解理，這樣不僅可以最大程度地保存樣品的原始結(jié)構(gòu)，還可以避免晶圓在切割過程中產(chǎn)生的不必要損傷。采用晶面解理方式，能夠得到更為理想的切口，斷面更光滑，有利于后續(xù)的觀察和使用。

LatticeAx 420具備以下核心優(yōu)勢(shì)：
高精度：目標(biāo)位置可進(jìn)行精準(zhǔn)調(diào)校（±10μm），5μm步進(jìn)的壓痕位置控制，特別適用于需要高精度切割的場(chǎng)合。
可重復(fù)：通過光學(xué)顯微鏡和精密定位旋鈕實(shí)現(xiàn)高精度的重復(fù)性過程，降低用戶對(duì)操作經(jīng)驗(yàn)的依賴性。
快速易學(xué)：通過簡(jiǎn)單的學(xué)習(xí)，操作人員就能在5分鐘內(nèi)完成樣品切割。
操作方便：設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué)，操作簡(jiǎn)便直觀，占地面積小，對(duì)操作環(huán)境要求較低。
廣泛應(yīng)用：配備金剛石壓頭，可切割各種材質(zhì)和樣品尺寸，應(yīng)對(duì)復(fù)雜多樣的切割需求。