描述

PELCO? LatticeAx? 225精密晶圓劃片裂片切割機(jī)，原為LatticeGear™的產(chǎn)品，是LatticeAx? 120的升級版，它增加了高倍數(shù)成像功能的設(shè)備，使得壓頭定位更精準(zhǔn)，從而提升劃片的精度。適用于實(shí)驗(yàn)室的精密化工作。

PELCO? LatticeAx 225可以提供20μm的定位精度，經(jīng)過培訓(xùn)的使用者可以在大約5分鐘內(nèi)完成高質(zhì)量的晶圓劃片，可處理各種尺寸、厚度的樣品和多種材料類型。它具備了手工劃片的基本元素，同時(shí)解決了手工劃片的精準(zhǔn)性不高、可重復(fù)性差等缺點(diǎn)。

LatticeAx采用了容易控制的“解理切割”，使得切割過程更為精準(zhǔn)，減少了切割誤差。它不需要?jiǎng)澗€，是在晶圓表面用金剛石壓頭壓一條長度小于1mm、寬度約10um的淺壓痕，然后沿著壓痕進(jìn)行解理，這樣不僅可以最大程度地保存樣品的原始結(jié)構(gòu)，還可以避免晶圓在切割過程中產(chǎn)生的不必要損傷。采用晶面解理方式，能夠得到更為理想的切口，斷面更光滑，有利于后續(xù)的觀察和使用。

其成像組件包括聚焦支架、帶偏光鏡的數(shù)碼顯微鏡,以及實(shí)時(shí)圖像采集和顯示軟件。通過實(shí)時(shí)成像，可以使用戶輕松實(shí)現(xiàn)壓痕精準(zhǔn)定位，讓所有經(jīng)過培訓(xùn)的用戶都可以輕松快速地完成劃片工作。LatticeAx 225可適用于各種尺寸、厚度和不同材料類型的樣品。