描述

此款JYSC-110型離子濺射儀主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），儀器操作簡(jiǎn)單方便，是配合SEM 制樣的儀器。設(shè)備配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空，在 20Pa 真空保護(hù)。同時(shí)，配有專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)裝置，以方便空氣或氬氣等工作氣體充入。

主要特點(diǎn)：

• 顯示操作面為30°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺體驗(yàn)，方便觀察操作；
• 真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；
• 微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確，帶有刻度標(biāo)識(shí)；
• 真空泵抽速快，噪音低，適合實(shí)驗(yàn)室使用；
• 控制電路為控制板，工作穩(wěn)定可靠；
• 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，布局合理，維修操作空間大；

技術(shù)參數(shù)：

1. 真空腔室：Φ110mm,高度130mm，
2. 試樣臺(tái)尺寸：Φ60mm
3. 金靶尺寸：Φ57mm
4. 真空系統(tǒng)：抽速8m³/h
5. 真空檢測(cè)：定制皮氏計(jì)，配合真空指針表，靈敏可靠；
6. 時(shí)間范圍：0-999秒連續(xù)可調(diào)，LED數(shù)顯。
7. 自動(dòng)排放氣，無(wú)需手動(dòng)排氣。
8. 工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量調(diào)節(jié)閥；