描述

此款JYSC-1000型小型磁控離子濺射儀主要用于SEM制樣樣品鍍導電膜（如金膜）或材料鍍膜，儀器性能穩(wěn)定，操作簡單方便。采用磁控冷態(tài)濺射，基本不升溫，保護樣品。

主要特點：

• 真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；
• 微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準確，帶有刻度標識；
• 真空泵抽速快，噪音低，適合實驗室使用；
• 控制電路為控制板，工作穩(wěn)定可靠；
• 磁控冷態(tài)濺射，基本不升溫，保護樣品；

技術(shù)參數(shù)：

1. 真空室：Φ150mm,高度110mm;
2. 試樣臺尺寸：Φ60mm,
3. 金靶尺寸：Φ50mm;
4. 真空系統(tǒng)：抽速8m³/h；
5. 真空檢測：定制皮氏計，配合真空指針表，靈敏可靠；
6. 排氣方式：自動；
7. 濺射時間：0－1000秒可連續(xù)設置。
8. 真空室工作氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進氣口和微量充氣節(jié)；
9. 可使用多種金屬靶材：Au，Au/Pd，Pt，Pt/Pd，Cu，Ag等，靶材更換快速方便
10. 主機尺寸：約450×330×235mm