描述
這款PELCO?凹坑儀是南灣科技D500i凹坑儀的改進(jìn)版，是一種精密的機(jī)電金相研磨儀器。它可不斷的監(jiān)視和控制凹陷參數(shù)，并且在達(dá)到預(yù)先設(shè)置的樣品厚度時準(zhǔn)確地終止研磨。這種機(jī)電一體化技術(shù)的實(shí)現(xiàn)了造坑過程的自動化，使得造坑減薄的過程變得可重復(fù)而可靠。
PELCO凹坑儀的精確度為±1μm，造坑面積大，機(jī)械損傷小?？蓪Χ喾N不同的材料進(jìn)行造坑減薄，如硅、鎵砷化合物、鍺、藍(lán)寶石、氧化物、碳化物、硼化物、硅化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半導(dǎo)體、鋁合金、陶瓷、碳和碳復(fù)合物。
| Z偏移量 | 精確度： | 1?micron |
| 范圍： | 2000?microns | |
| Z終止精確度 | 工具1i / ? 3i： | <±1?micron |
| 工具2i / ? 4i： | <±2?microns | |
| 工具壓力 | 范圍： | 1 – ? 200?grams |
| 1?grams 步進(jìn) | ||
| 平衡 | 靈敏度： | 1?grams |
| 范圍： | 50?grams | |
| 工具速度 | 100 ? – 600 RPM | |
| 樣品壓盤轉(zhuǎn)速 | 10?RPM | |
| 工具傳動軸 | 0.5微米TIR | |
| 工具1i / ? 3i： | <±1?micron?TIR | |
| 工具2i / ? 4i： | <±2?microns?TIR | |
| 壓盤表面 | <0.5?micron?TIR | |
| 外形尺寸 | 長度： | 68.6cm |
| 寬度： | 35.6cm | |
| 高度： | 33cm | |
| 重量： | 32kg | |
| 電源 | 通用交流電：85~264 ? VAC，47~63 Hz | |
| 產(chǎn)品編號 | 描述 |
| 84000 | PELCO???TEM精密凹坑儀 |
| 83050 | PELCO??視頻對齊工具 |
| 83031 | 用于TEM的3mm樣品的標(biāo)準(zhǔn)工具組 |
| 83032 | 可調(diào)節(jié)壓板組 |
| 83001 | 藍(lán)寶石樣品座 |
