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描述
Pelcotec™ CDMS-XY 標(biāo)樣是一種用于掃描電鏡、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡、離子束雕刻、CD-SEM、激光掃描顯微鏡和原子力顯微鏡快速、精確校準(zhǔn)的便捷工具。該標(biāo)樣提供了 X 和 Y 兩個(gè)坐標(biāo)軸的比例尺線，可在不旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)的情況下輕松進(jìn)行二維校準(zhǔn)。
Pelcotec™ CDMS-XY 標(biāo)樣使用最新的半導(dǎo)體和微電子制造技術(shù)制成，具有卓越的線緣質(zhì)量，可提供廣泛的測(cè)量范圍。
該標(biāo)樣有兩種特征尺寸范圍可選，分別是 Pelcotec™ CDMS-XY-1T 和 Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ，每個(gè)尺寸范圍都提供可追溯和認(rèn)證標(biāo)樣，總共有四種：
Pelcotec™ CDMS-XY-1T ：特征尺寸范圍為 2.0mm 到 1um，適用于放大倍率在 10x – 20,000x 之間的臺(tái)式掃描電鏡和低到中等放大應(yīng)用。
| 產(chǎn)品編號(hào) | 描述 | 單位 |
|---|---|---|
| 684-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1T ，2mm – 1μm，可追溯，沒(méi)有樣品座 | 個(gè) |
Pelcotec™ CDMS-XY-1C ：每個(gè)標(biāo)樣均根據(jù) NIST 標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了單獨(dú)認(rèn)證，特征尺寸范圍為 2.0mm 到 1μm，適用于放大倍率在 10x – 20,000x 之間的臺(tái)式掃描電鏡和低到中等放大應(yīng)用。
| 產(chǎn)品編號(hào) | 描述 | 單位 |
|---|---|---|
| 689-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1C ，2mm – 1μm，已認(rèn)證，沒(méi)有樣品座 | 個(gè) |
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ：特征尺寸范圍為 2.0mm 到 100nm，適用于所有掃描電鏡和大多數(shù)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用，放大倍率可達(dá) 10 – 200,000x。
| 產(chǎn)品編號(hào) | 描述 | 單位 |
|---|---|---|
| 685-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ，2mm – 100nm，可溯源，沒(méi)有樣品座 | 個(gè) |
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C ：每個(gè)標(biāo)樣均根據(jù) NIST 標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了單獨(dú)認(rèn)證，特征尺寸范圍為 2.0mm 到 100nm，適用于所有掃描電鏡和大多數(shù)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用，放大倍率可達(dá) 10 – 200,000x。
| 產(chǎn)品編號(hào) | 描述 | 單位 |
|---|---|---|
| 690-01 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C ，2mm – 100nm，已認(rèn)證，沒(méi)有樣品座 | 個(gè) |
該標(biāo)樣的特征尺寸范圍見(jiàn)下表：
Pelcotec™ CDMS-XY-1T? 和 -1C? 的特征尺寸為：
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50μm、10μm、5μm、2μm 和 1μm。
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T? 和 0.1C? 的特征尺寸為：
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50μm、10μm、5μm、2μm 和 1μm、500nm、250nm 和 100nm。
可選的預(yù)先安裝在樣品座上。
| Pelcotec™ CDMS-XY-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1 | |
| 基底尺寸：2.5×2.5mm | ? | ? |
| 基底厚度：525±10μm | ? | ? |
| 唯一序列識(shí)別號(hào) | ? | ? |
| 2mm、1mm、0.5mm 的校準(zhǔn)方塊 | ? | ? |
| 垂直于 X 軸和 Y 軸的刻度線，間距為 10um、5μm、2μm 和 1μm | ? | ? |
| 僅限高分辨率版本 – 垂直于 X 和 Y 軸的附加刻度線以 500、250 和 100 nm 節(jié)距標(biāo)出 | — | ? |
| 特征材料：50nm Cr (2mm – 5μm) | ? | ? |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（2μm 和 1μm） | ? | ? |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（500、250 和 100nm） | — | ? |
| 可在晶圓級(jí)追溯到 NIST | T 版本 | T 版本 |
| CDMS 標(biāo)樣直接獲得 NIST 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證 | C版本 | C版本 |
| 不含樣品臺(tái) | ? | ? |
| 可安裝于SEM樣品臺(tái) | ? | ? |
| 精度優(yōu)于0.3% | ? | ? |
