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Pelcotec掃描電鏡線寬標(biāo)樣 CDMS 標(biāo)準(zhǔn)特征尺寸放大標(biāo)樣

Pelcotec™ CDMS 校準(zhǔn)標(biāo)樣是一種獨(dú)特的經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、功能齊全、可追溯的校準(zhǔn)標(biāo)樣,可用于快速精準(zhǔn)的掃描電鏡(SEM)、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FESEM)、離子束刻蝕(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍數(shù)校準(zhǔn)。這些標(biāo)樣采用最新的半導(dǎo)體和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)制成,可以覆蓋廣泛的測(cè)量范圍。

描述

Pelcotec™ CDMS 校準(zhǔn)標(biāo)樣是一種獨(dú)特的經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、功能齊全、可追溯的校準(zhǔn)標(biāo)樣,可用于快速精準(zhǔn)的掃描電鏡(SEM)、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FESEM)、離子束刻蝕(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍數(shù)校準(zhǔn)。這些標(biāo)樣采用最新的半導(dǎo)體和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)制成,可以覆蓋廣泛的測(cè)量范圍。

SDMS-2

Pelcotec™ CDMS 校準(zhǔn)標(biāo)樣有兩種特征尺寸范圍,分別是 Pelcotec™ CDMS-1T 和 Pelcotec™ CDMS-0.1T ,都提供可追溯和認(rèn)證標(biāo)樣,共有4個(gè)種:

Pelcotec™ CDMS-1T : 可追溯,特征尺寸范圍為2.0毫米到1微米,放大倍數(shù)范圍為10倍到20,000倍,非常適合臺(tái)式掃描電鏡和低到中等放大應(yīng)用。

PELCO CDMS-1T AND 1C

產(chǎn)品編號(hào)描述單位
682-1Pelcotec™ CDMS-1T ,2mm – 1μm,可追溯,沒有樣品臺(tái)個(gè)

Pelcotec™ CDMS-1C : 經(jīng)過NIST標(biāo)樣認(rèn)證的特征尺寸范圍為2.0毫米到1微米,放大倍數(shù)范圍為10倍到20,000倍,非常適合臺(tái)式掃描電鏡和低到中等放大應(yīng)用。

產(chǎn)品編號(hào)描述單位
686-1Pelcotec™ CDMS-1C ,2mm – 1μm,經(jīng)過認(rèn)證,沒有樣品臺(tái)個(gè)

Pelcotec™ CDMS-0.1T : 可追溯,特征尺寸范圍為2.0毫米到100納米,放大倍數(shù)范圍高達(dá)10倍到200,000倍,適用于所有掃描電鏡和大多數(shù)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用。

PELCO CDMS Magnification Standard

產(chǎn)品編號(hào)描述單位
683-01Pelcotec™ CDMS-0.1T ,2mm – 100nm,可追溯,沒有樣品臺(tái)個(gè)

 

Pelcotec™ CDMS-0.1C : 經(jīng)過NIST標(biāo)樣認(rèn)證的特征尺寸范圍為2.0毫米到100納米,放大倍數(shù)范圍高達(dá)10倍到200,000倍,適用于所有掃描電鏡和大多數(shù)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用。

產(chǎn)品編號(hào)描述單位
687-01Pelcotec™ CDMS-0.1T ,2mm – 100nm,經(jīng)認(rèn)證,沒有樣品臺(tái)個(gè)

 

Pelcotec™ CDMS? 標(biāo)樣的特征尺寸范圍為2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10μm、5μm、2μm和1μm(適用于 Pelcotec™ CDMS-1T ISO 和 Pelcotec™ CDMS-1C )。而Pelcotec™ CDMS-0.1T? 和 0.1C? 的特征尺寸范圍為2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10μm、5μm、2μm、1μm、500nm、250nm和100nm。

Pelcotec™ CDMS? 標(biāo)樣采用超平整的硅襯底制成,采用精密的50nm鉻沉積技術(shù)制造特征尺寸小于5μm的部分,而采用50nm金/20nm鉻的組合制造2μm到100nm的特征尺寸。鉻和金/鉻在硅基底上提供了卓越的SE和BSE成像模式對(duì)比度,比刻蝕硅標(biāo)樣更易于確定特征。由于硅襯底、鉻和鉻/金特征都具有導(dǎo)電性,因此該校準(zhǔn)標(biāo)樣不存在充電問題。由于其堅(jiān)固的結(jié)構(gòu),CDMS標(biāo)樣可使用等離子體清洗器進(jìn)行清潔。

較小的特征尺寸被嵌套在一起,以便于導(dǎo)航和快速校準(zhǔn)。特征的精度為0.3%或更高。標(biāo)樣的實(shí)際尺寸為2.5 x 2.5mm,厚度為525μm ±10μm,在硅表面上沒有涂層。每個(gè)Pelcotec™ CDMS 校準(zhǔn)標(biāo)樣都有一個(gè)獨(dú)特的識(shí)別編號(hào)。

Pelcotec™ CDMS 校準(zhǔn)標(biāo)樣可供選擇不安裝或安裝在SEM樣品臺(tái)A-R上。對(duì)于AFM應(yīng)用,Pelcotec™ CDMS 安裝在12mm的AFM圓片上,而對(duì)于LM應(yīng)用,則安裝在25 x 75mm的載玻片上。也可以制備在自定義的支架上。

可選的樣品座。

Pelcotec™ CDMS-1Pelcotec™ CDMS-0.1
基底:硅??
基底尺寸:2.5×2.5mm??
基底厚度:525±10μm??
唯一序列識(shí)別號(hào)??
2mm、1mm、0.5mm、0.25mm 的校準(zhǔn)方塊??
垂直于 X 軸的刻度線,間距為 10μm、5μm、2μm 和 1μm??
僅高分辨率版本 – 垂直于 X 軸的附加刻度線以 500、250 和 100 nm 節(jié)距標(biāo)出?
特征材料:50nm Cr (2mm – 5μm)??
特征材料:20nm Cr/50nm Au(2μm 和 1μm)??
特征材料:20nm Cr/50nm Au(500、250 和 100nm)?
可在晶圓級(jí)追溯到 NISTT 版本T 版本
CDMS 標(biāo)樣直接獲得 NIST 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證C版本C版本
不含樣品臺(tái)??
可安裝在 SEM樣品臺(tái)上??
精度優(yōu)于0.3%??

 

 

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